半导体行业SEMI F47测试

半导体行业SEMI F47测试

                                                                                                —IT7800如何轻松编辑电压瞬降波形

    相信大家都有所了解，半导体制造厂商对供电有着极高的要求，特 别是对于电力供应品质要求更高的晶圆相关产业，一旦发生电压瞬降， 不仅对敏感的微电脑自动控制设备造成不可预期的伤害，也会使制程中 断，而产生极大的损失。为了能保护敏感的设备能够免于电压瞬降的危 害，SEMI F47 标准规定了半导体制程设备对电压瞬降的耐受等级，要 求对通常发生在交流电网中的电压骤降具有“免 疫 力”。

    何谓SEMI F47电压瞬降测试？电压瞬降通常是指负载端电压值降 到额定电压值的 90%以下，并持续0.5~60个周期，而SEMI F47是半 导体制程设备电压暂降抗扰度规范。在SEMI F47-0706中，以50Hz为例，电压为50%标称值时为10周、电压为 70%标称值时为25周、电压为80%标称值时为50周。一些晶圆厂会要求更高等级的耐受，相 较F47-0200增加电压瞬降的耐受时间或强度，在电压为0%标称值时 为1周，电压为80%标称值时为500周。

    艾德克斯始终致力于提供以功率电子为核心的全方位专业测试测 量解决方案，全新一代交流电源产品系列 IT7800大功率可编程电源、IT7900/P回馈式电网模拟器拥有强大的任意波形编辑功能，除了内置 的IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28 等法规波形外，还可以模拟谐波/间 谐波及各种复杂的电网扰动波形，是测试和实验室的理想选择。

    以下是某客户的测试需求：

SEMI F47 法规测试
三相输出，其中一相 1 个周期 50Hz（20ms）的瞬降（0V）

解决方案：通常大家可能会想到用 List 功能来编辑此波形，这是可 以的，然而对于非整数周期，像是60Hz（16.7ms），计算每个单步的 持续时间就相对复杂。此时我们可以考虑用突波/陷波功能来轻松实现。

IT7800/7900/P系列电源提供突波/陷波的模拟功能，用户可以根据 需求在输出的波形基础上加上突波/陷波来模拟电路系统中电压的异常 波动，而且突波/陷波可以叠加在任意基础波形上，设置如下：

实测波形如下： 可以看到 A 相跌落到 0，持续时间 1 个周期，每 5 个周期出现一次。

IT7900P回馈式电网模拟器基本特点
♦ 高功率密度，2U可达6kVA ，3U可达15kVA
♦ 电压可达350 VL-N
♦ 高效的能量回馈
♦ 主从均流，并机可达960kVA *1
♦ 内建丰富的波形数据库
♦ 支持单相/三相/反相/反相模式下电压可扩展至200%额定电压
♦ 支持NORMAL/LIST/SWEEP，任意一种模式均可以叠加Surge&Sag功能
♦ 触摸屏设计，简洁的UI界面
♦ 相位角0~360°可设
♦ 高达50次的谐波模拟和分析功能，内置IEC61000-3-2/3-12等测试法规 *2
♦ 可模拟任意波形输出，支持CSV文件导入波形
♦ 选配电流源选件 *3
♦ 内置USB/CAN/LAN/数字IO，选配GPIB/模拟量&RS232接口
♦ 多种保护功能，包括自动清保护、瞬时过电压保护POVP、软件看门狗等

IT7900P回馈式电网模拟器源特点
♦ 全四象限回馈式电网模拟器
♦ 输出频率：16~2400Hz *4
♦ 功率放大器，适用于功率硬件在环（PHiL）测试
♦ 专业孤岛测试模式，支持R/L/C及有功、无功功率设定
♦ 可实现AC/DC/AC+DC/DC+AC四种输出模式
♦ 多通道功能，单机可同时测试1~3个待测物 *5
♦ 可编程输出阻抗，模拟电力线路阻抗
♦ 谐波/间谐波波形合成
♦ 锁频和锁相功能，实现6相/12相电源输出
♦ 满足低电压穿越，相位跳变，频率变动、谐波注入等并网法规测试
♦ 内置IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28等法规波形测试
♦ 提供丰富的触发配置，同步捕获待测物电压波形，实现数据的采集与仿真功能
♦ 选配专业软件，配合多国**法规测试条件设立程序，可完成民用航空电子及IEC相关标准的测试 *3

IT7900P回馈式电网模拟器载特点
♦ 全四象限回馈式交/直流电子负载
♦ 输出频率：16-500Hz
♦ AC模式下支持CC/CP/CR/CS/CC+CR/CE多种工作模式，
♦ CE模式可以模拟单相整流RLC和并联RLC等多种电路拓扑
♦ DC模式下支持CC/CR/CP/CV等9种工作模式
♦ AC模式下支持整流和非整流两种模式
♦ 可调节波峰因数：1.414 ~ 5.0
♦ 支持相移功能，范围为-180º~180.0º *6
♦ 单位功率因数1功能可以使电流波形随电压波形变化，功率因数尽可能接近为1
♦ 支持抽载与卸除角度控制，0-359°全范围都可设定

*1 1U/2U*多可并16台，3U机型*多可并64台
*2 电压/电流谐波分析，源模式下电压谐波模拟，载模式下电流谐波模拟，基波≤60Hz
*3 即将发布
*4 电网模拟器和孤岛模拟模式下，16~150Hz
*5 单相机型不具备多通道功能
*6 开启整流功能后，相移的设置范围受峰值因数的约束
*7 1U/2U机型即将发布